重結晶碳化硅 RSiC
材料性能
化學成分(相組成) SiC>99%
體積密度 (g/cm³) 2.65~ 2.75
顯氣孔率 (%) <15
常溫抗彎強度 20°C (MPa) 90~100
高溫抗彎強度1200°C (MPa) 100~110
硬度20°C (kg/mm²) 1800~2000
斷裂韌性20°C (MPa*M^1/2) 1.8~2.0
導熱系數1200°C (W/M.K) 35~36
熱膨脹系數20-1200°C (1*10^-6/°C) 4.6
熱震穩定性 1200°C 好
最高工作溫度 1650°C

氮化硅結合碳化硅 NSiC

材料性能
化學成分(相組成) SiC<75%，SiN4>25%
體積密度 (g/cm³) 2.75~ 2.85
顯氣孔率 (%) <11
常溫抗彎強度 20°C (MPa) 160~170
高溫抗彎強度1200°C (MPa) 170~180
硬度20°C (kg/mm²) 2500
斷裂韌性20°C (MPa*M^1/2) 4.0
導熱系數1200°C (W/M.K) 20
熱膨脹系數20-1200°C (1*10^-6/°C) 4.7
熱震穩定性 1200°C 極好
最高工作溫度 1500°C

反應燒結碳化硅                       SiSiC

材料性能
化學成分(相組成)                        SiC>90%，Si<10%
體積密度 (g/cm3)                         >3.02
顯氣孔率 (%)                            <0.1
常溫抗彎強度 20°C (MPa)                250
高溫抗彎強度1200°C (MPa)              260
硬度20°C (kg/mm2)                      2400
斷裂韌性20°C (MPa*M1/2)                 3.3
導熱系數1200°C (W/M.K)                 45
熱膨脹系數20-1200°C (1*10-6/°C)         4.5
熱震穩定性 1200°C                      好
最高工作溫度                           1350°C

無壓燒結碳化硅 SSiC
材料性能
化學成分(相組成) SiC>99%
體積密度 (g/cm³) >3.1
顯氣孔率 (%) <0.1
常溫抗彎強度 20°C (MPa) 400
高溫抗彎強度1200°C (MPa) 410
維氏硬度（HV₁₀）20°C (GPa) 25
斷裂韌性20°C (MPa*M^1/2) 3.0
導熱系數1200°C (W/M.K) 74
熱膨脹系數20-1200°C (1*10^-6/°C) 4.5
熱震穩定性 1200°C 好
最高工作溫度 1600°C